Chất nền gốm kim loại

key1 QUỐC GIA
key3 ±50㎛

1. Độ dày: 0,1㎜~1,5㎜ / 4mil~60mil
2. Độ chính xác cắt: ±50㎛

Đặc trưng

Giá đỡ phụ được phát triển bằng cách kết hợp công nghệ kim loại hóa và vật liệu gốm sứ mà MARUWA đã phát triển trong nhiều năm. Các vật liệu có thể được tùy chỉnh bằng nhiều công nghệ mẫu khác nhau, chẳng hạn như kim loại hóa bao quanh. Sản phẩm này được sử dụng trong các chất nền mạch để lưu trữ quang, truyền thông quang, ứng dụng RF và nhiều mục đích sử dụng khác.

Đặc điểm kỹ thuật chung của kim loại hóa

Mục		Tiêu chuẩn rõ ràng
Vật liệu nền	Vật liệu	Alumina(Al₂ồ₃)	99,5％、96％v.v.
		Nhôm Nitrua(AlN)	-
		Chất nền điện môi	e38, e93, v.v.
	độ dày	0,1㎜~1,5㎜ / 4 triệu~60 triệu
	Quy mô công việc	50,8㎜□(2inch□)、2inch x 4inch□、3inch
Đặc điểm phim (Dây dẫn)	Thành phần màng / Độ dày màng	khắc khô	Ti/Pt/Au=0,06/0,2/0,3㎛~2,0㎛xấp xỉ
			Ti/Pd/Au=0,06/0,2/2,0㎛~10,0㎛xấp xỉ
		Khắc ướt	Ti/Pd/Au=0,06/0,2/2,0㎛~10,0㎛xấp xỉ
Đặc điểm phim (Thân kháng)	Sức đề kháng của ghế	25Ω/□、50Ω/□(±20%)	Thông số kỹ thuật đặc biệt (± 5%)
		TCR	-50±50ppm/°C
	Bố cục phim	Tantali Nitrat(Ta2N)
Đặc điểm phim (Hàn)	Thành phần màng / Độ dày màng	Âu/Sn	1,5㎛~10㎛
Thông số kỹ thuật xử lý (Mạch màng mỏng)	Dòng & Khoảng cách Tối thiểu	khắc khô	L/S≧10㎛
		Khắc ướt	L/S:20㎛/20㎛±10㎛
Đặc điểm kỹ thuật xử lý (Gia công)	Độ chính xác cắt	±50㎛

Mục	Kiểm tra hàng	Máy kiểm tra đo lường
Đảm bảo chất lượng	Kích cỡ	Kính hiển vi đo
	Độ dày màng	Máy đo huỳnh quang tia X, máy đo độ nhám bề mặt
	Sức chống cự	Máy đo đa năng kỹ thuật số
	Bên ngoài	kính hiển vi
	Độ bền dây	Người thử nghiệm Plt